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《陶瓷真空吸盤》《切割盤》《清洗盤》<陶瓷CHUCK>
<晶圓切割盤><晶圓清洗盤><晶圓光學檢測吸盤><晶圓搬運吸盤><其它客製化用途>
《陶瓷手臂》《全抗靜電陶瓷手臂》
客製化陶瓷手臂：A.真空道使用SUS密封 B.真空道使用陶瓷密封；
客製化全抗靜電陶瓷手臂：陶瓷材料本身阻抗10的6次方～8次方歐姆（非表面coating抗靜電）
<離子蝕刻製程陶瓷零件>
<99.5%以上氧化鋁陶瓷客製化零件>
<濕製程PEEK軸承/導輪>
<標準型號><基板輸送邊導輪><客製化>
<蝕刻ICP製程>
<碳化矽載盤><陶瓷載盤><石英載盤><鋁合金載盤>
<快速升降溫製程（RTP)載盤>
<碳化矽載盤>
<研磨拋光製程陶瓷零件>
<陶瓷拋光盤><陶瓷拋光環><新品&重工>
<陶瓷Shield Ring>
<新品><重工>
<陶瓷Roller Bushing>
<新品><重工>
<陶瓷pin>
<新品><重工>
<<陶瓷壓頭-封裝製程>>
陶瓷材質:<氮化矽Si3n4><氮化鋁Aln>碳化矽Sic><藍寶石Sapphire><可重工>
application
