-
《陶瓷真空吸盤》《切割盤》《清洗盤》<陶瓷CHUCK>
<晶圓切割盤><晶圓清洗盤><晶圓光學檢測吸盤><晶圓搬運吸盤><其它客製化用途>
《陶瓷手臂》《全抗靜電陶瓷手臂》
客製化陶瓷手臂:A.真空道使用SUS密封 B.真空道使用陶瓷密封;
客製化全抗靜電陶瓷手臂:陶瓷材料本身阻抗10的6次方~8次方歐姆(非表面coating抗靜電)
<晶圓切割盤><晶圓清洗盤><晶圓光學檢測吸盤><晶圓搬運吸盤><其它客製化用途>
客製化陶瓷手臂:A.真空道使用SUS密封 B.真空道使用陶瓷密封;
客製化全抗靜電陶瓷手臂:陶瓷材料本身阻抗10的6次方~8次方歐姆(非表面coating抗靜電)