<晶圓切割盤><晶圓清洗盤><晶圓光學檢測吸盤><晶圓搬運吸盤><其它客製化用途>
客製化陶瓷手臂：A.真空道使用SUS密封 B.真空道使用陶瓷密封； 客製化全抗靜電陶瓷手臂：陶瓷材料本身阻抗10的6次方～8次方歐姆（非表面coating抗靜電）
<99.5%以上氧化鋁陶瓷客製化零件>
陶瓷材質:<氮化矽Si3n4><氮化鋁Aln>碳化矽Sic><藍寶石Sapphire><可重工>
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