光電與太陽能製程專用高性能材料應用總覽

徽亞科技專精於提供適用於光電模組與太陽能電池製程的多種高性能材料，包括： 抗靜電陶瓷、氧化鋁（Al₂O₃）、氧化鋯（ZrO₂）、碳化矽（SiC）、可加工陶瓷（玻璃微晶瓷）、石英（Quartz）。 這些材料廣泛應用於矽晶圓處理、雷射加工、薄膜沉積（CVD/PECVD）、焊接封裝與清洗等製程設備，可大幅提升製程良率與設備壽命。

各材料於光電與太陽能製程中的應用：

• 抗靜電陶瓷：應用於晶圓與玻璃基板的真空吸盤、雷射封裝治具、轉運手臂，抑制靜電放電與微粒吸附。
• 氧化鋁（Al₂O₃）：用於高溫爐腔結構、鍍膜底座、晶片對位平台，具高硬度、耐蝕與絕緣性。
• 氧化鋯（ZrO₂）：常用於封裝壓頭、導電隔離模組、雷射對位固定架，耐熱衝擊、韌性高。
• 碳化矽（SiC）：應用於 PECVD / CVD 腔體內襯、熱載盤、蝕刻環與導電平台，具極高導熱與耐蝕性能。
• 可加工陶瓷（玻璃微晶瓷）：適用於 AOI 測試平台、雷射焊接夾具、非導電光學基座，具絕緣性與尺寸穩定性。
• 石英（Quartz）：廣泛應用於清洗托盤、LPCVD石英管、電漿防護罩、透明對位治具，具高潔淨與熱穩定性。

所有產品皆支援 精密客製加工，可依據圖面設計加工 鑽孔、開槽、導通孔、抗靜電塗層、導電塗層、複合嵌件 等， 滿足光電與太陽能客戶在各階段製程中對 高穩定性、高潔淨與長壽命 的材料需求。