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製程應用

手臂－1
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《陶瓷手臂》《全抗靜電陶瓷手臂》

常用規格：《2“－12”晶圓搬運；客製化規格：依圖面製作》 《材料：陶瓷，全抗靜電陶瓷》
產品介紹 應用說明
  • 客製化陶瓷手臂：
    A.一般貼片式陶瓷手臂,用SUS片或是陶瓷片密封手臂真空道
    B.無接縫式製程陶瓷手臂,將兩片陶瓷加工真空道後再進燒結爐二次燒結後再做外型的精加工
        故不會有一般用貼片式封真空道的陶瓷手臂漏氣的問題
    客製化全抗靜電陶瓷手臂：
    陶瓷材料本身阻抗10的6次方～8次方歐姆（非表面coating抗靜電）

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