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《陶瓷手臂》《全抗靜電陶瓷手臂》
常用規格:《2“-12”晶圓搬運;客製化規格:依圖面製作》 《材料:陶瓷,全抗靜電陶瓷》
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產品介紹
應用說明
客製化陶瓷手臂:
A.一般貼片式陶瓷手臂,用SUS片或是陶瓷片密封手臂真空道
B.無接縫式製程陶瓷手臂,將兩片陶瓷加工真空道後再進燒結爐二次燒結後再做外型的精加工
故不會有一般用貼片式封真空道的陶瓷手臂漏氣的問題
客製化全抗靜電陶瓷手臂:
陶瓷材料本身阻抗10的6次方~8次方歐姆(非表面coating抗靜電)
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