TFT-LCD 製程專用高性能材料應用總覽

徽亞科技專精於提供適用於 TFT-LCD 面板製程的多種高性能材料，包括： 抗靜電陶瓷、氧化鋁（Al₂O₃）、氧化鋯（ZrO₂）、碳化矽（SiC）、可加工陶瓷（玻璃微晶瓷）、石英（Quartz）。 這些材料廣泛應用於 TFT-LCD 製造流程中各項設備零組件，可有效提升良率與設備穩定性。

各材料於 TFT-LCD 製程中的應用：

• 抗靜電陶瓷：應用於面板搬運手臂、吸盤與玻璃基板固定平台，有效抑制靜電積聚，防止面板損傷與污染。
• 氧化鋁（Al₂O₃）：用於對位平台、異方性蝕刻設備結構、貼合治具與電極基座，具高硬度與絕緣性。
• 氧化鋯（ZrO₂）：應用於精密定位模組、面板封裝夾具與真空吸附裝置，具韌性高、耐裂性佳。
• 碳化矽（SiC）：導熱性佳、耐化學腐蝕，適合用於塗佈、熱處理與乾蝕刻腔體結構件。
• 可加工陶瓷（玻璃微晶瓷）：可精密加工，適合製作 AOI 平台支撐、雷射校準固定架、夾治具與導電隔離件。
• 石英（Quartz）：高潔淨、熱穩定，廣泛用於光罩支撐件、曝光對位平台、清洗與鍍膜環節的防護罩與導流結構。

我們提供上述材料之 客製化加工服務，支援雷射切割、精密鑽孔、真空通孔、複雜開槽、抗靜電塗層處理等工藝， 協助 TFT-LCD 面板製造商在各階段製程中實現 高穩定性、高潔淨度與高效率 的應用目標。