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一體成型抗靜電陶瓷(Bulk ESD Ceramic)|非表面 Coating
一體成型抗靜電陶瓷(Bulk ESD Ceramic),抗靜電特性存在於陶瓷材料本體,非表面 ESD Coating,適用於半導體晶圓搬運、陶瓷手臂、真空吸盤及精密 ESD 零組件。
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氧化鋯(Zirconia, ZrO₂)高韌性精密陶瓷材料
氧化鋯(ZrO₂)具高韌性、高耐磨、良好機械強度與低熱傳導特性,適合精密機械、陶瓷 Pin、軸套、導輪、定位零件及高耐磨精密陶瓷零組件。
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碳化矽(Silicon Carbide, SiC)精密陶瓷材料
碳化矽(SiC)具高硬度、高熱傳導、耐磨、耐腐蝕及良好高溫穩定性,適用於半導體蝕刻、CVD/PECVD、真空設備及高潔淨度精密陶瓷零組件。
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氮化矽(Silicon Nitride, Si₃N₄)高強度精密陶瓷材料
氮化矽(Si₃N₄)具高強度、高韌性、低密度、耐磨及優異耐熱震性能,適用於陶瓷軸承、滾輪、軸套、精密機械、高速旋轉及高溫設備零組件。
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可加工玻璃陶瓷(Machinable Glass Ceramic)精密絕緣材料
可加工玻璃陶瓷(Machinable Glass Ceramic)具良好電氣絕緣、低熱傳導、尺寸穩定及可加工特性,適合複雜孔位、精密治具、真空設備、電子及半導體設備零組件。
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石英(Quartz / Fused Quartz)半導體高純度精密零組件
石英(Quartz / Fused Quartz)具高純度、低熱膨脹、良好耐熱震、電氣絕緣及光學特性,廣泛應用於半導體晶圓製程、CVD/PECVD、蝕刻、真空及高溫設備精密零組件。










