碳化矽SIC

【特性】
低密度重量輕
高硬度接近鑽石
高熱傳導性均溫性
低線性膨脹係數
惰性氣體下SSiC最高工作溫度超過1,500°C
抗熱衝擊特性
即使在高溫下也耐腐蝕和磨損

碳化矽是常被人們使用的非氧化物陶瓷材料，因為碳化矽具有比一般陶瓷還要良好的硬度、耐熱性、耐氧化性、耐腐蝕性及高導熱性，所以近年碳化矽被廣泛應用在機械工程中的結構件和化學工程中的密封件等,其密度是碳化鎢硬質合金的1/5，硬度僅次於金剛鑽，抗顆粒磨損的性能十分優異，能在高溫下抗各類酸鹼等化工介質的腐蝕，比強度極高，抗高溫氧化性能和高溫力學性能也十分優良。更被應用於半導體製造裝置，LED製造裝置的擴散爐內用配件，蝕刻裝置用基板託盤，燒制用棚辦等領域。