氧化铝 (Al2O3)
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本司常用的純度為:99.5%-99.7%氧化铝 (Al2O3)<成品>
氧化鋁(Al2O3):不同的純度有不同的特性差異
【特性】
極佳的電絕緣性
中等至超高機械強度
極高壓縮強度
高硬度
中等熱傳導性
高耐腐蝕和磨損特性
良好的研磨特性
低密度
生物惰性
食品相容
【應用範例】
半導體產業晶片製程:陶瓷絕緣礙子,CVD電上下電極陶瓷零組件、PVD絕緣礙子,陶瓷環、陶瓷機械手臂等
半導體產業封裝製程:LIFT PIN、陶瓷腔體、陶瓷絕緣礙子、切割機用真空吸盤、電漿清潔承載座、打線陶瓷嘴、覆晶封裝用陶瓷熱壓頭及晶粒固定座等
LCD產業 ARRAY 製程:LIFT PIN、PIN Guide、Diffuser Extansion、陶瓷絕緣礙子,蝕刻機陶瓷上電極 / 下電極
LED產業晶粒製程:後製程 - 陶瓷研磨盤、陶瓷 真空吸盤、陶瓷吸嘴
由於完全緻密的氧化鋁在可見光區是透光的,且熔點較一般玻璃高出許多,優異的抗腐蝕特性也適合應用在高溫、高壓的環境中
所以隨著陶瓷製程技術的逐步改良,使其能廣泛地應用在照明、光學儀器等領域。
光電半導體的關鍵性製程均需於乾淨無塵的環境內施行,而且零件是處於高溫、真空狀態以及具腐蝕性的氣 體環境中運作
有鑑於此,由於精密陶瓷能在嚴苛的化學環境下仍能保持高度的穩定性,而低膨脹係數、抗高溫潛變
高絕緣電氣特性、高密度、抗氧化及高硬度的機械性質等多樣特性,
均能在製程中展現高度的優勢
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